什么是無油真空泵,有哪些特點及應用領域?

更新時間：2020-11-26

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　　無油真空泵屬于無油類真空泵常用產品之一，由于不再使用密封液，工作時也不用添加任何真空油，大大提升了所排出空氣的質量，還有一個顯著的特點就是在運作時發出的噪音非常小，不對環境造成任何影響。

　　無油真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，氣體通過進氣管進入過濾消音器內進行過濾，達到靜音的效果，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。

　　無油真空泵特點：

　　1、該產品無需任何工作介質（無油）可產生潔凈的真空，不產生污染，生產過程中采用新技術和新材料。

　　2、便于攜帶，移動方便，工作流暢。采用無油潤滑，活塞結構，比普通隔膜泵使用壽命更長久。

　　3、泵體電機采用耐受性能更好的全銅電機，可保證長久的連續工作和運轉。

　　4、*的壓力可調式設計，可滿足一定范圍內的真空度和氣體流速。

　　5、采用進口軸承，運轉平滑，無噪音，使用壽命長久，工作效率高。

　　6、機身外殼采用合金材料一體式壓鑄成型，保證外觀的整潔和散熱性能。

　　7、可選配防腐空氣過濾器，避免腐蝕性氣體對泵體配件的損壞，有效防腐蝕。

　　常見應用領域：

　　1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中。

　　2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒。

　　3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求。